液冷用コールドプレートとは:流路構造・材料選定・製造CTQ

AIサーバー用コールドプレートの熱移送経路、ベースと上蓋、蛇行・並列流路、アルミと銅の選定、平面度、圧力損失、清浄度、シール、漏れ試験などの製造CTQを解説します。

公開:2026年8月5日 更新:2026年8月5日 20 分で読めます
目次

直接回答

液冷用コールドプレートは、ダイレクト・トゥ・チップ方式で熱源に最も近い機能部品です。一方の面がCPU、GPU、パワーデバイスと接触し、反対側の内部流路を冷却液が流れてサーバー液冷ループへ熱を運びます。

単純な「金属板に水路を加工した部品」ではありません。量産可能なコールドプレートには、次の要件があります。

  • チップまたはTIMと安定して接触すること
  • 主な発熱領域へ冷却液を適切に分配すること
  • 流量と圧力損失がシステム許容範囲内であること
  • 上蓋、ポート、接合部から長期的に漏れないこと
  • バリ、切粉、ろう材、洗浄残留物が管理されていること
  • 金属、冷却液、シール、表面処理が互いに適合すること
  • 試作性能を量産工程で再現できること

熱移送経路は次のとおりです。

チップ → TIM → コールドプレートベース → 内部伝熱構造 → 冷却液

OCP液冷コールドプレート要求仕様では、熱性能、圧力損失、漏れ、耐圧、材料、信頼性、インターフェースを一体で評価しています。ASHRAEも、コールドプレートには温度、流量、圧力損失、材料適合性、清浄度に関する明確な境界があると説明しています。そのため、外形寸法だけで合否を判断することはできません。


ベースプレート、カバー、蛇行流路、入口・出口ポートを示した液冷プレート断面図

液冷プレートの主図。ベースプレート、上蓋、蛇行流路、入口・出口ポートの断面関係を示します。

1. 液冷用コールドプレートの基本構造

代表的なコールドプレートは六つの機能領域で構成されます。

機能領域主な役割代表的な製造リスク
熱接触ベースチップから熱を受ける平面度、粗さ、厚さのばらつき
内部流路冷却液を分配し熱交換する寸法不良、バリ、詰まり、圧力損失
上蓋・封止層密閉流路を形成する接合不良、変形、局部漏れ
入口・出口ポート配管・マニホールドと接続する方向、ねじ、シール面
取付・位置決め部位置と取付荷重を管理する穴位置、基準、全高
シール・接合部長期的な密閉を維持するシール溝、溶接、ろう付け、締結荷重

ベースを薄くすると熱伝導距離を短くできますが、加工変形や耐圧リスクが増えます。ポートが流路に近すぎると最小壁厚が不足します。上蓋の剛性が低いと耐圧時に膨らむ可能性があります。

2. コールドプレートが熱を移す仕組み

熱性能は複数の熱抵抗で決まります。

  1. チップとTIMの接触
  2. TIMとコールドプレート表面の接触
  3. ベース内部の熱伝導
  4. ベースから流路壁への熱伝導
  5. 金属壁から冷却液への対流熱伝達
  6. 冷却液による熱の搬送

材料の熱伝導率を高くするだけでは十分ではありません。ベースが厚いと伝導距離が増え、薄すぎると変形します。流量を増やすと熱交換が改善する場合がありますが、圧力損失とポンプ負荷も増えます。

目標競合する可能性のある条件
熱抵抗を下げる薄いベース、密な流路が必要になる
圧力損失を下げる広く短い流路が必要になる
強度を高める厚い壁と上蓋が必要になる
軽量化剛性が低下する可能性
低コスト化材料、層数、加工時間を制限
信頼性向上洗浄、検査、検証工程が増える

3. 代表的な流路構造

蛇行流路

一本の連続した経路で主要発熱領域を通過します。経路が明確で流量を集中させやすい一方、長くなると圧力損失と入口・出口温度差が増えます。

並列流路

冷却液を複数の分岐へ分配します。各分岐を短くできますが、分配部、集合部、分岐抵抗の均一性が重要です。

ピンフィン・乱流構造

熱源領域にピン、島状構造、乱流形成部を配置して伝熱面積を増やします。工具到達性、根元R、間隔、バリ取り、洗浄を確認する必要があります。

マイクロチャネル

限られた面積で伝熱面積を増やし、高熱流束領域に対応できます。ただし、製造公差、異物、ろ過、洗浄、冷却液、圧力損失に敏感です。

多層流路

分配層、交差流路、局部強化領域を形成できますが、部品点数、位置決め、接合、内部検査、洗浄が複雑になります。

流路形式主な利点主なリスク
蛇行経路が単純、流量を集中長い経路、圧力損失
並列分岐が短く広い領域を冷却流量ばらつき
ピンフィン伝熱面積を増加加工、バリ、洗浄
マイクロチャネル高熱流束に対応圧力損失、詰まり、公差
多層流路設計の自由度接合と内部検証

4. アルミ、銅、銅アルミ複合の選定

アルミ合金

軽量で加工性が良く、大型コールドプレートや量産CNC加工に適します。6061、6063などは、強度、熱特性、ろう付け、溶接、表面処理の要求に応じて検討します。

熱伝導性が高く、発熱が集中する領域やベース寸法が制限される場合に有効です。一方で、重量、材料費、工具摩耗、加工時間、表面保護を考慮します。

銅アルミ複合

熱源付近に銅、主体や上蓋にアルミを用いることで、熱拡散、重量、コストのバランスを取れます。ただし、接合、電食、熱膨張差、長期信頼性の課題が増えます。

OCP水系熱媒体ガイドラインでは、冷却液、接液材料、運転条件の適合性を重視しています。材料はコールドプレート単体ではなく、接液ループ全体で選定します。

評価項目アルミ銅アルミ複合
熱伝導良好高い必要領域で高い
重量低い高い中程度
CNC生産性比較的良い相対的に低い分割方法による
接合合金と工程による構造による難しい
腐食管理冷却液との適合が必要同左電食に注意
コスト比較的管理しやすい高い中~高
代表用途大型、軽量、量産集中熱源性能と重量の折衷

5. ベース、流路壁、上蓋を単純に薄くできない理由

重要な厚さ条件には次があります。

  • 接触面から流路までのベース厚さ
  • 隣接流路間のリブ厚さ
  • 流路から外周までの最小壁厚
  • 流路からねじ穴・取付穴までの距離
  • 上蓋厚さ
  • 接合後の仕上げ代

ベースを薄くすると熱移動距離を短縮できますが、材料応力、クランプ、接合、取付荷重、耐圧による変形が増えます。

厚さは熱解析、構造解析、材料状態、加工順序、接合工程、最終取付状態を合わせて決定します。

6. 熱接触面の製造CTQ

平面度

平面度はTIM圧縮状態とチップ荷重に影響します。自由状態で合格しても、取付後に変形する場合があります。

検査条件には次を明記します。

  • 自由状態または取付状態
  • 接合前または接合後
  • 表面処理前または後
  • 温度条件
  • 基準と支持方法

表面粗さ

表面粗さはTIMとの実接触に影響します。鏡面化ではなく、TIM種類、厚さ、取付圧力に合わせます。

位置と全高

接触面、取付穴、位置決め、ポートが寸法連鎖を形成します。全高や穴位置のずれは取付荷重を変化させます。

CTQ明確にする条件
平面度検査状態、基準、温度、工程
粗さ測定方向、測定領域、TIM要求
接触面高さ取付基準と公差
取付穴位置基準体系と寸法連鎖
表面処理マスキングと膜厚影響
表面保護傷防止、梱包、取扱い

7. 流路と圧力損失のCTQ

流路寸法は図面寸法であると同時にシステム性能値です。

管理項目には次があります。

  • 流路幅と深さ
  • 分岐断面
  • 分配部と集合部
  • 曲がり、R、局部絞り
  • ピンフィン、微細構造の間隔
  • 流路表面とバリ
  • 入口・出口方向
  • 内部詰まりと残留物

外形が同じでも、流路深さ、バリ、ろう材分布が異なると圧力損失は変化します。

検査検出できる問題
流路寸法幅、深さ、局部形状
内部観察バリ、詰まり、接合不良
流量試験全体の流通能力
圧力損失試験抵抗、詰まり、形状差
多分岐流量分流ばらつき
清浄度異物と残留物

8. 上蓋の封止方法

代表的な方法は次のとおりです。

  • メカニカルシールとボルト締結
  • 真空ろう付け
  • 摩擦攪拌接合
  • レーザー溶接などの溶接
  • 拡散接合
  • 材料・構造に応じたその他の方法

選定した工程は、部品分割、接合形状、熱変形、内部清浄度、接合後加工、非破壊検査、気密・耐圧、量産時間、コストへ影響します。

詳細な工程比較は既存のコールドプレート製造工法記事へ内部リンクします。

9. ポート、シール、材料適合性

ポートには、ねじ継手、圧入継手、溶接管、クイックコネクタ、マニホールド直結などがあります。

代表的なCTQは次のとおりです。

  • 位置と方向
  • ねじ仕様と有効深さ
  • シール面形状と粗さ
  • 継手座の壁厚
  • 工具スペース
  • 配管曲げ半径
  • 組立後の付加荷重
  • 供給・戻りの誤接続防止

シール材は冷却液、温度、圧力、寿命、洗浄液と適合する必要があります。

10. 内部清浄度が機能CTQである理由

バリ、切粉、研磨材、洗浄残留、ろう材、腐食生成物は次の部品へ移動する可能性があります。

  • マイクロチャネル
  • バルブ
  • クイックコネクタ
  • フィルター
  • ポンプ
  • センサー
  • 他のサーバー分岐

内部清浄度は外観ではなく、流量と信頼性の要求です。

代表的な工程は次のとおりです。

  1. 流路加工後のバリ取り
  2. 接合前洗浄・乾燥
  3. 接合後の残留物管理
  4. 最終フラッシング
  5. 粒子・残留物の検証
  6. 二次汚染防止
  7. ポート封止
  8. 清浄梱包

11. コールドプレートの検証方法

OCPコールドプレート開発・認定白書では、性能、信頼性、試験方法を一体で扱っています。

検証主な内容目的
寸法外形、穴位置、平面度、粗さ、ポート組立と熱接触
内部品質流路、詰まり、接合、清浄度隠れた異常の検出
気密規定圧力と漏れ量密閉性確認
耐圧規定圧力と保持時間構造余裕
流量・圧力損失複数流量点システム適合
熱性能温度、負荷、流量、圧力損失熱交換能力
温度サイクルサイクル後の寸法と漏れ接合とシール
振動・衝撃輸送・運転条件接続部と構造
材料適合性冷却液、金属、シール、皮膜腐食と汚染

気密合格だけでは、流量、圧力損失、熱性能を保証できません。

12. 量産で固定すべきCTQ

段階主な課題
コンセプト試作流路、ポート、基本熱性能
工程検証平面度、圧力損失、シール、清浄度、組立
量産準備材料、治具、工具、接合、洗浄、検査を固定
安定量産工程能力、追跡、抽出検査、異常、変更管理

量産管理では次を定義します。

  • 100%検査する特性
  • ロット・抜取検査する特性
  • 流量・圧力損失の試験条件
  • 気密・耐圧の媒体、圧力、時間、判定
  • 清浄度限界と測定方法
  • 表面処理とマスキング
  • 図面版数、ロット、試験データの追跡
  • 材料・工程・供給元変更時の再認定

13. 見積りに必要な資料

分類推奨資料
設計資料2D図面、3Dモデル、版数、変更履歴
熱条件チップ発熱量、目標温度、接触領域
流体条件冷却液、流量、圧力損失、温度範囲
圧力条件使用、最大、耐圧、漏れ量
材料ベース、上蓋、接液金属、シール
流路構造、寸法、分岐、残留物、清浄度
ポートねじ、継手、方向、作業スペース
表面平面度、粗さ、表面処理、マスキング
検証寸法、気密、耐圧、流量、圧力損失、熱試験
プロジェクト試作数、予定数量、納期、量産計画

設計が確定していない場合は、確定条件と仮定条件を分けて提示します。

よくある質問

液冷用コールドプレートと空冷ヒートシンクの違いは何ですか?

空冷ヒートシンクは主にフィンから空気へ熱を放出しますが、液冷用コールドプレートは内部流路を流れる冷却液へ熱を移します。そのため、熱接触面、流路、圧力損失、シール、清浄度、接続部を一体で管理する必要があります。

液冷用コールドプレートにはアルミと銅のどちらが適していますか?

すべての用途に共通する答えはありません。銅は熱伝導性が高い一方で、重量、コスト、加工条件が異なります。アルミは軽量で加工しやすく、大型部品や量産に適しています。冷却液、腐食、接合、表面処理、形状、コストも含めて選定します。

コールドプレートの流路は小さいほど冷却性能が高くなりますか?

必ずしもそうではありません。小さい流路は伝熱面積を増やせる可能性がありますが、圧力損失、詰まり、加工、洗浄の難易度も上がります。熱負荷、流量、ポンプ能力、冷却液、ろ過条件、製造公差を合わせて決定します。

コールドプレート製造後は気密試験だけで十分ですか?

十分ではありません。気密試験は規定条件で漏れが検出されないことを確認する試験であり、流路詰まり、流量、圧力損失、熱接触面、熱性能までは保証できません。寸法、清浄度、耐圧、流量、圧力損失、必要な熱性能の検証も行います。

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技術監修: 仲徳精密エンジニアリングチーム

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